德福科技取得真空镀膜膜层表面冷却装置专利，使基材表面被溅射后可以得到迅速的冷却lg...

摘要：金融界2024年2月23日消息，据国家知识产权局公告，九江德福科技股份有限公司取得一项名为“一种真空镀膜膜层表面冷却装置“，授权公告号CN220520618U，申请日期为2023年5月。专利摘要显示，本实用新型公开了一种真空镀膜膜层表面冷却装置，包括放卷仓、预处理仓、真空溅射仓和收卷仓，所述放卷仓的内部一侧转动连接有放卷辊，所述放卷仓的一侧设置有预处理仓；所述预处理仓的一侧设置有真空溅射仓，所述真空溅射仓的一侧设置有收卷仓。通过上述结构，通过优化各控温辊的布局设计，使基材表面被溅射后可以得到迅速的冷却，以满足后续溅射工序对基材表面严苛的输入温度要求。并且控温辊材质的选择与传统使用的不锈钢材质大不相同，采用的是导热系数更高的铜材料，提高热交换效率，从而可以快速地将基材表面的温升带走。另外，控温辊两端轴承的固定采用可调节式轴承座卡紧，可满足各控温辊之间的间距可调。