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江丰电子申请MoNb合金靶材再生方法专利,实现对MoNb合金废靶的回收再利用

2024-01-11 00:23:20
金融界
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摘要:金融界2024年1月10日消息,据国家知识产权局公告,宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种MoNb合金靶材的再生方法“,公开号CN117358930A,申请日期为2023年10月。专利摘要显示,本发明涉及一种MoNb合金靶材的再生方法,所述再生方法包括如下步骤:(1)MoNb合金废靶经表面预处理,得到预处理废靶;(2)将步骤(1)所得预处理废靶进行电子束熔炼处理,所得MoNb合金锭材经等离子体球化处理,得到MoNb合金粉体;(3)步骤(2)所得MoNb合金粉体依次经填充振实处理、脱气处理、热等静压处理以及机加工,得到所述MoNb合金靶材。本发明通过将电子束熔炼与等离子体球化工艺相结合,实现了对MoNb合金废靶的回收再利用,制得的MoNb合金靶材致密度较高,能够达到平板显示行业的高性能要求。

金融界2024年1月10日消息,据国家知识产权局公告,宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种MoNb合金靶材的再生方法“,公开号CN117358930A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明涉及一种MoNb合金靶材的再生方法,所述再生方法包括如下步骤:(1)MoNb合金废靶经表面预处理,得到预处理废靶;(2)将步骤(1)所得预处理废靶进行电子束熔炼处理,所得MoNb合金锭材经等离子体球化处理,得到MoNb合金粉体;(3)步骤(2)所得MoNb合金粉体依次经填充振实处理、脱气处理、热等静压处理以及机加工,得到所述MoNb合金靶材。本发明通过将电子束熔炼与等离子体球化工艺相结合,实现了对MoNb合金废靶的回收再利用,制得的MoNb合金靶材致密度较高,能够达到平板显示行业的高性能要求。

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