华泰证券：MEMS工艺已在多领域应用 未来在人形机器人中的应用将进一步拓宽lg...

华泰证券发布研究报告称，MEMS基于微细加工技术和半导体工艺，将微传感器、微执行器和电子线路、微能源相结合，可实现微观尺度的传感和控制。目前MEMS已广泛应用于消费电子、汽车工业、生物医疗等领域，在人形机器人领域中，MEMS麦克风、IMU和阵列式触觉传感器已获得应用。该行认为，人形机器人对微型化、集成化和轻量化要求较高，与MEMS工艺的特点相契合，未来MEMS在人形机器人中的应用将进一步拓宽。